纯度99.9999%，定义电子级材料新标准

在芯片制造、光纤预制棒合成的尖端领域，材料的纯净度直接决定了产品的性能极限。艾约塔IOTA高纯四氯化硅（TET），以 ≥99.9999% 的超高纯度与 ≥500 Ω·cm 的电阻率表现，为半导体沉积、光纤芯层制备等关键工艺提供安全、可靠、一致的高品质原料保障。

为什么选择艾约塔高纯四氯化硅？

 极致纯度，性能可靠

• 纯度 ≥99.9999%（6N级），满足先进制程对杂质控制的严苛要求

• 关键杂质含量极低：B≤0.1ppb、As/P≤0.08ppb、C＜0.2ppb

• 电阻率 ≥500 Ω·cm，保障沉积膜层的电学性能一致性

 金属杂质严格受控

• Fe、Ni、Cr等过渡金属杂质分别控制在 ppb 级

• 有效降低晶格缺陷，提升器件良率与可靠性

 包装专业，输送安全

• 采用 316L不锈钢高洁净容器，防止二次污染

• 提供 45L、250L、900L 三种规格，对应充装 45kg、300kg、1000kg

• 阀门标配 1/2"、1/4" VCR接口，兼容主流输送系统，支持定制化包装与接口方案

关键指标一览

核心应用领域

半导体制造

• 外延沉积（Epitaxy）硅源

• 化学气相沉积（CVD）前驱体

• 高纯度多晶硅制备原料

 光纤通信

• 光纤预制棒芯层合成

• 掺杂石英玻璃制备

 特种材料合成

• 高纯二氧化硅气相沉积

• 特种陶瓷与前驱体合成

• 光伏与电子特气配套

包装与供应保障

• 容器材质：316L不锈钢，内表面电解抛光（EP级），超高洁净度

• 规格选择：

  • 45L瓶装 → 充装45kg

  • 250L瓶装 → 充装300kg

  • 900L瓶装 → 充装1000kg

• 阀门配置：1/2"、1/4" VCR接口，支持氦质谱检漏

• 定制服务：可根据工艺需求提供特定包装、阀门与输送解决方案